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半導體清洗設備行業(yè)全景洞察：現狀、趨勢與競爭格局

1、半導體清洗設備行業(yè)概況

半導體清洗是半導體制造過程中至關重要的環(huán)節(jié)，其目的是通過無損傷清洗去除晶圓表面的顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機物、犧牲層、拋光殘留物等雜質，為下一步工藝創(chuàng)造良好的條件。隨著半導體芯片工藝技術節(jié)點的不斷進步，對清洗設備的需求也在不斷增加。清洗設備作為芯片良率的“保鏢”，在半導體產業(yè)鏈中占據著舉足輕重的地位。

半導體清洗設備是用于對晶圓表面進行無損傷清洗以去除雜質的工藝設備。根據清洗方式的不同，半導體清洗設備可以分為以下幾類：

半導體清洗設備分類

資料來源：普華有策

2、半導體清洗設備的發(fā)展歷程

半導體清洗設備的發(fā)展與半導體技術進步緊密相關。1965年美國無線電公司發(fā)明RCA工藝，此后隨著集成電路制造工藝發(fā)展，清洗設備逐漸受到關注。20世紀90年代，化學機械拋光技術引入，催生了CMP后清洗設備需求。進入21世紀，濕法和干法清洗設備并行發(fā)展，等離子體清洗技術廣泛應用。如今，隨著半導體技術進入超小節(jié)點時代，高精度與智能化清洗設備崛起。

半導體清洗設備的發(fā)展歷程

資料來源：普華有策

3、半導體清洗設備產業(yè)鏈分析

半導體清洗設備產業(yè)鏈上游包括氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等原材料和零部件供應，原材料種類繁多，成本占比高，單個企業(yè)外購供應商數量多。中游為清洗設備制造環(huán)節(jié)，全球市場高度集中。下游主要應用于晶圓制造和封裝測試行業(yè)，晶圓制造領域市場集中度高，中芯國際、華虹集團等是主要需求廠商，對清洗設備定制化需求較高。

半導體清洗設備產業(yè)鏈結構圖

資料來源：普華有策

4、半導體清洗設備行業(yè)現狀

在半導體制造領域，工藝技術持續(xù)進步，芯片尺寸持續(xù)縮小。這使得芯片對雜質的敏感度大幅上升，清洗工序變得愈發(fā)關鍵，清洗步驟也顯著增多。以不同制程的芯片為例，90nm芯片的清洗工藝約有90道，而20nm芯片的清洗工藝則多達215道。如今，清洗步驟在整個半導體制造工藝中占比近三分之一，幾乎半導體制作的每一個環(huán)節(jié)前后都離不開清洗工序。這種趨勢為半導體清洗設備市場開拓了廣闊的發(fā)展空間，帶來了巨大的增長潛力。

近年來，在國內半導體行業(yè)快速發(fā)展趨勢的推動下，我國已經成為全球半導體設備第一大市場，全國半導體清潔設備市場規(guī)模加速擴容，產業(yè)發(fā)展前景日益廣闊。數據顯示，2023年，我國半導體清洗設備市場規(guī)模已從2019年的6.46億元增長至17.77億元；預計2028年國內半導體清洗設備市場規(guī)模有望增長至70億元。

2019-2028年我國半導體清洗設備市場規(guī)模

資料來源：普華有策

5、半導體清洗設備行業(yè)競爭格局

半導體清洗設備行業(yè)競爭格局呈現全球市場集中、國內外企業(yè)梯隊競爭的態(tài)勢，且國內企業(yè)發(fā)展迅速，份額逐步提升。

全球半導體清洗設備市場集中度高，海外廠商占據主導。2023年全球半導體清洗設備CR4達86%，其中日本迪恩士（Dainippon Screen）市場份額最高，占比37%，泰科電子（TEL）占22%，美國泛林半導體（Lam Research）占17%，韓國SEMES公司占10%。這些海外巨頭憑借可選配腔體數、每小時晶圓產能、制程節(jié)點上的領先優(yōu)勢，壟斷全球清洗設備市場。它們多采用旋轉噴淋技術，在技術和市場方面擁有先發(fā)優(yōu)勢。

中國半導體清洗設備企業(yè)起步相對較晚，市占率較低，但發(fā)展迅速。國內主要廠商有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技等。其中，盛美上海占全球半導體清洗設備市占率7%，排名第五。國內企業(yè)通過采取差異化路線，積極研發(fā)兆聲波、二流體等技術追趕海外巨頭。例如，盛美股份在單片清洗設備、北方華創(chuàng)在槽式清洗設備積極布局。國內企業(yè)在全球競爭力不斷提升，所占市場份額不斷提高。

6、半導體清洗設備行業(yè)內主要企業(yè)介紹

（1）迪恩士（Screen Holdings）

提供半導體制造設備和服務，清洗設備以高精度和高效率著稱，能滿足不同尺寸和類型半導體器件的清洗需求，是眾多半導體制造商的首選，在全球市場占據重要地位，尤其在單片清洗設備領域技術領先，不斷推出如SU-2000、SU-3100等新型設備。

（2）盛美上海

中國大陸半導體濕法設備龍頭企業(yè)，產品豐富，包括單片SAPS兆聲波清洗設備、單片槽式組合清洗設備等。其自主研發(fā)的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術和Tahoe單片槽式組合清洗技術為全球首創(chuàng)，可應用于45nm及以下技術節(jié)點的晶圓清洗領域，已進入海力士、長江存儲等知名晶圓廠產線。

（3）北方華創(chuàng)

國產半導體設備龍頭，業(yè)務覆蓋刻蝕、沉積、清洗等多領域。半導體清洗設備主要有單片清洗設備及全自動槽式清洗設備，12英寸單片清洗機采用旋轉濕法清洗技術，具備清洗選擇性好、效率高等特點，在國內市場有一定份額。

（4）至純科技

在半導體清洗設備與高純工藝系統(tǒng)領域領先，半導體清洗設備涵蓋濕法槽式清洗設備及濕法單片清洗設備。其系統(tǒng)集成及支持設備業(yè)務量占比較大，打破國外企業(yè)壟斷，滿足不同客戶對清洗設備的需求。

（5）芯源微

主要業(yè)務為半導體設備，其中光刻工序涂膠顯影設備占比62.23%，單片式濕法設備占比35.6%。濕法設備包括清洗機、去膠機等，在單片式濕法清洗設備領域有技術實力和市場地位，產品得到客戶認可。

《2025-2031年半導體清洗設備行業(yè)細分市場分析投資前景專項報告》涵蓋行業(yè)全球及中國發(fā)展概況、供需數據、市場規(guī)模，產業(yè)政策/規(guī)劃、相關技術、競爭格局、上游原料情況、下游主要應用市場需求規(guī)模及前景、區(qū)域結構、市場集中度、重點企業(yè)/玩家，企業(yè)占有率、行業(yè)特征、驅動因素、市場前景預測，投資策略、主要壁壘構成、相關風險等內容。同時北京普華有策信息咨詢有限公司還提供市場專項調研項目、產業(yè)研究報告、產業(yè)鏈咨詢、項目可行性研究報告、專精特新小巨人認證、市場占有率報告、十五五規(guī)劃、項目后評價報告、BP商業(yè)計劃書、產業(yè)圖譜、產業(yè)規(guī)劃、藍白皮書、國家級制造業(yè)單項冠軍企業(yè)認證、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務。（PHPOLICY:GYF）

目錄

第一章 宏觀經濟環(huán)境分析

第一節(jié) 全球宏觀經濟分析

一、2024年全球宏觀經濟運行概況

二、2025年全球宏觀經濟趨勢預測

第二節(jié) 中國宏觀經濟環(huán)境分析

一、2020-2024年中國宏觀經濟運行概況

二、2025年中國宏觀經濟趨勢預測

第三節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)社會環(huán)境分析

第四節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)政治法律環(huán)境分析

一、行業(yè)管理體制分析

二、行業(yè)相關發(fā)展規(guī)劃

三、主要產業(yè)政策解讀

第五節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)技術環(huán)境分析

一、技術發(fā)展水平分析

二、技術革新趨勢分析

第二章 國際半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析

第一節(jié) 國際半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展現狀分析

一、國際半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展概況

二、主要國家半導體清洗設備行業(yè)的經濟效益分析

三、2025-2031年國際半導體清洗設備行業(yè)的發(fā)展趨勢分析

第二節(jié) 主要國家及地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展狀況及經驗借鑒

一、美國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析

1、2020-2024年行業(yè)規(guī)模情況

2、2025-2031年行業(yè)前景展望

二、歐洲半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析

1、2020-2024年行業(yè)規(guī)模情況

2、2025-2031年行業(yè)前景展望

三、日韓半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析

1、2020-2024年行業(yè)規(guī)模情況

2、2025-2031年行業(yè)前景展望

四、2020-2024年其他國家及地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析

五、國外半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展經驗總結

第三章 2020-2024年中國半導體清洗設備市場供需分析

第一節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備產能分析

一、2020-2024年中國半導體清洗設備產能及增長率

二、2025-2031年中國半導體清洗設備產能預測

三、2020-2024年中國半導體清洗設備產能利用率分析

第二節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備產量分析

一、2020-2024年中國半導體清洗設備產量及增長率

二、2025-2031年中國半導體清洗設備產量預測

第三節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備市場需求分析

一、2020-2024年中國半導體清洗設備市場需求量及增長率

二、2025-2031年中國半導體清洗設備市場需求量預測

第四節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)細分產品結構分析

第四章 中國半導體清洗設備產業(yè)鏈結構分析

第一節(jié) 中國半導體清洗設備產業(yè)鏈結構

一、產業(yè)鏈概況

二、特征

第二節(jié) 中國半導體清洗設備產業(yè)鏈演進趨勢

一、產業(yè)鏈生命周期分析

二、產業(yè)鏈價值流動分析

三、演進路徑與趨勢

第三節(jié) 中國半導體清洗設備產業(yè)鏈競爭分析

第五章 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)產業(yè)鏈分析

第一節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)上游運行分析

一、行業(yè)上游介紹

（一）A

（二）B

（三）C

二、行業(yè)上游發(fā)展狀況分析

三、行業(yè)上游對半導體清洗設備行業(yè)影響力分析

第二節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)下游運行分析

一、行業(yè)下游介紹

二、行業(yè)下游需求占比

三、行業(yè)下游發(fā)展狀況分析

1、A用半導體清洗設備市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預測

2、B用半導體清洗設備市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預測

3、C用半導體清洗設備市場分析

（1）行業(yè)發(fā)展現狀

（2）需求規(guī)模

（3）需求前景預測

第六章 中國半導體清洗設備行業(yè)區(qū)域市場分析

第一節(jié) 華北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第二節(jié) 東北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第三節(jié) 華東地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第四節(jié) 華南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第五節(jié) 華中地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第六節(jié) 西南地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第七節(jié) 西北地區(qū)半導體清洗設備行業(yè)分析

一、2020-2024年行業(yè)發(fā)展現狀分析

二、2020-2024年市場規(guī)模情況分析

三、2020-2024年市場需求情況分析

四、2025-2031年行業(yè)發(fā)展前景預測

第七章 中國半導體清洗設備行業(yè)市場經營情況分析

第一節(jié) 2020-2024年行業(yè)市場規(guī)模分析

第二節(jié) 2020-2024年行業(yè)基本特點分析

第三節(jié) 2020-2024年行業(yè)銷售收入分析（包含銷售模式及銷售渠道）

第四節(jié) 2020-2024年行業(yè)區(qū)域結構分析

第八章中國半導體清洗設備產品價格分析

第一節(jié) 2020-2024年中國半導體清洗設備歷年價格

第二節(jié) 中國半導體清洗設備當前市場價格

一、產品當前價格分析

二、產品未來價格預測

第三節(jié) 中國半導體清洗設備價格影響因素分析

第四節(jié) 2025-2031年半導體清洗設備行業(yè)未來價格走勢預測

第九章 半導體清洗設備行業(yè)競爭格局分析

第一節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)集中度分析

一、市場集中度分析

二、區(qū)域集中度分析

第二節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)競爭格局分析

一、行業(yè)競爭分析

二、與國際產品競爭分析

三、行業(yè)競爭格局展望

第三節(jié) 重點企業(yè)市場占有率分析

第十章 普華.有策對行業(yè)重點企業(yè)經營狀況分析

第一節(jié) A公司

一、企業(yè)基本情況

二、企業(yè)主要業(yè)務概況及半導體清洗設備產品介紹

三、企業(yè)核心競爭力分析

四、企業(yè)經營情況分析

第二節(jié) B公司

一、企業(yè)基本情況

二、企業(yè)主要業(yè)務概況及半導體清洗設備產品介紹

三、企業(yè)核心競爭力分析

四、企業(yè)經營情況分析

第三節(jié) C公司

一、企業(yè)基本情況

二、企業(yè)主要業(yè)務概況及半導體清洗設備產品介紹

三、企業(yè)核心競爭力分析

四、企業(yè)經營情況分析

第四節(jié) D公司

一、企業(yè)基本情況

二、企業(yè)主要業(yè)務概況及半導體清洗設備產品介紹

三、企業(yè)核心競爭力分析

四、企業(yè)經營情況分析

第五節(jié) E公司

一、企業(yè)基本情況

二、企業(yè)主要業(yè)務概況及半導體清洗設備產品介紹

三、企業(yè)核心競爭力分析

四、企業(yè)經營情況分析

第十一章 半導體清洗設備行業(yè)投資價值評估

第一節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)產銷分析

第二節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)成長性分析

第三節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)盈利能力分析

一、主營業(yè)務利潤率分析

二、總資產收益率分析

第四節(jié) 2020-2024年半導體清洗設備行業(yè)償債能力分析

一、短期償債能力分析

二、長期償債能力分析

第十二章PHPOLICY對2025-2031年中國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展預測分析

第一節(jié) 2025-2031年中國半導體清洗設備發(fā)展環(huán)境預測

第二節(jié) 2025-2031年我國半導體清洗設備行業(yè)產值預測

第三節(jié) 2025-2031年我國半導體清洗設備行業(yè)銷售收入預測

第四節(jié) 2025-2031年我國半導體清洗設備行業(yè)總資產預測

第五節(jié)2025-2031年我國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模預測

第六節(jié) 2025-2031年中國半導體清洗設備市場形勢分析

一、2025-2031年中國半導體清洗設備生產形勢分析預測

二、影響行業(yè)發(fā)展因素分析

1、有利因素

2、不利因素

第七節(jié) 2025-2031年中國半導體清洗設備市場趨勢分析

第十三章 2025-2031年半導體清洗設備行業(yè)投資機會與風險

第一節(jié)半導體清洗設備行業(yè)投資機會

一、產業(yè)鏈投資機會

二、細分市場投資機會

三、重點區(qū)域投資機會

第二節(jié)半導體清洗設備行業(yè)主要壁壘構成

一、技術壁壘

二、資金壁壘

三、人才壁壘

四、其他壁壘

第三節(jié)半導體清洗設備行業(yè)投資風險及防范

一、政策風險及防范

二、技術風險及防范

三、供求風險及防范

四、宏觀經濟波動風險及防范

五、關聯(lián)產業(yè)風險及防范

六、產品結構風險及防范

七、其他風險及防范

第十四章 普華有策對半導體清洗設備行業(yè)研究結論及投資建議