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半導體等高科技驅(qū)動下的超高純氣體行業(yè)歷程、趨勢與國內(nèi)外競爭

1、超高純氣體行業(yè)發(fā)展概況

超高純氣體（純度≥99.999%，即5N及以上）是半導體、光伏、航空航天、量子計算等高科技產(chǎn)業(yè)的關鍵基礎材料。隨著現(xiàn)代工業(yè)對氣體純度的要求不斷提高，氣體提純技術經(jīng)歷了從基礎物理分離到智能化、集成化工藝的演進。氣體提純行業(yè)發(fā)展概況如下：

超高純氣體行業(yè)發(fā)展歷程

資料來源：普華有策

2、超高純氣體行業(yè)發(fā)展趨勢

隨著制造復雜性的提升與材料純度要求的日益嚴苛，新興應用對半導體性能提出了更高要求——需具備更強算力、更快速度及更低能耗特性。為滿足這一需求，半導體架構持續(xù)迭代升級，關鍵尺寸不斷微縮，晶體管設計日趨復雜，極紫外光刻（EUV）、多層圖案化等先進工藝技術得以規(guī)模化應用，鰭式場效應晶體管（FinFET）、3DNAND存儲結(jié)構及環(huán)繞柵極晶體管（GAA）等垂直堆疊結(jié)構相繼涌現(xiàn)。此類先進技術與架構的實施，不僅需要更多精細化工藝步驟與新型創(chuàng)新材料的支撐，更對高精度污染控制解決方案提出了迫切需求。值得注意的是，隨著芯片特征尺寸的持續(xù)縮小及三維結(jié)構密度的顯著增加，半導體制造環(huán)節(jié)中的污染控制已成為保障器件良率達到可接受水平的核心要素。特別是先進制程中光刻、沉積、化學機械拋光（CMP）、蝕刻及清洗等關鍵工藝步驟的顯著增多，進一步推高了材料純度的嚴苛標準，從而帶動氣體純化控制系統(tǒng)解決方案整體需求的持續(xù)增長。

3、超高純氣體行業(yè)競爭格局

（1）國際企業(yè)主導高端市場格局

我國高純氣體純化設備行業(yè)的高端市場長期由國際行業(yè)巨頭占據(jù)主導地位。應特格（Entegris）、AirWaterMechatronicsInc、大陽日酸（TaiyoNipponSanso）等國際領先企業(yè)憑借深厚的技術積淀、卓越的產(chǎn)品性能與品質(zhì)保障，以及廣泛的市場應用覆蓋，在市場競爭中建立起顯著優(yōu)勢。尤其在半導體制造的多環(huán)節(jié)工藝中，上述企業(yè)憑借技術可靠性與產(chǎn)品穩(wěn)定性，在全球及中國市場均保持較高占有率，并形成了良好的品牌口碑。

（2）國內(nèi)企業(yè)加速技術追趕

國內(nèi)企業(yè)依托持續(xù)的自主研發(fā)投入與技術積累，在純化工藝技術、產(chǎn)品質(zhì)量控制及配套服務體系等關鍵維度，正逐步縮小與國際行業(yè)巨頭的差距，呈現(xiàn)加速追趕態(tài)勢。

4、行業(yè)內(nèi)的主要企業(yè)

（1）Entegris,Inc.（應特格）

主要產(chǎn)品和服務包括過濾產(chǎn)品、液體系統(tǒng)及組件、高性能材料和特種氣體管理解決方案、晶圓運輸產(chǎn)品、特種石墨、碳化硅和涂料，其產(chǎn)品主要應用于半導體領域。應特格在微污染控制、先進材料處理等方面技術處于領先地位。

（2）AirWater Mechatronics Inc.

主要產(chǎn)品和服務包括氣體與液體處理設備、過濾產(chǎn)品、環(huán)保相關設備等，其在自動化、制造工程、工業(yè)工程、機械工程等多個領域技術實力雄厚，在氣體純化和工業(yè)設備制造等領域為眾多生產(chǎn)企業(yè)提供關鍵設備和技術支持。

（3）TaiyoNipponSansoCo.,Ltd.（大陽日酸株式會社）

其主營業(yè)務為工業(yè)氣體生產(chǎn)和銷售，同時向客戶銷售氣體純化設備。主要產(chǎn)品包括工業(yè)氣體、醫(yī)藥氣體、特種氣體和相關設備（熔接設備、焊接材料、各種氣體相關設備、空氣分離裝置）。公司是三菱化學集團的成員之一，在亞洲、歐洲和美洲設有200多家分支機構，與全球眾多知名企業(yè)建立長期穩(wěn)定合作關系。

（4）大連華邦化學有限公司

主要產(chǎn)品包括氣體純化器、HP系列輕烴加氫催化劑、物料精制劑、超純氣體現(xiàn)場供應與管理、純化器設備租賃。大連華邦化學有限公司成功研制了HPC-9N系列純化器，產(chǎn)品應用于國內(nèi)多條12英寸產(chǎn)線，以及數(shù)十條6～8英寸、TFT、LED、IGBT等產(chǎn)線，為客戶提供超純氣體現(xiàn)場供應及管理、維保服務。

（5）杭州科百特過濾器材有限公司

產(chǎn)品主要應用于下游生命科學與生物制藥、工業(yè)領域，致力于各種過濾分離純化膜和流體管理系統(tǒng)研究和開發(fā)，為全球集成電路制造和生物制藥產(chǎn)業(yè)以及工業(yè)新能源產(chǎn)業(yè)提供創(chuàng)新的過濾、分離、純化和流體解決方案。在工業(yè)領域為客戶提供水、油、氣的過濾、分離和純化解決方案。

《2025-2031年超高純氣體行業(yè)市場調(diào)研及發(fā)展趨勢預測報告》涵蓋行業(yè)全球及中國發(fā)展概況、供需數(shù)據(jù)、市場規(guī)模，產(chǎn)業(yè)政策/規(guī)劃、相關技術/專利、競爭格局、上游原料情況、下游主要應用市場需求規(guī)模及前景、區(qū)域結(jié)構、市場集中度、重點企業(yè)/玩家，企業(yè)占有率、行業(yè)特征、驅(qū)動因素、市場前景預測，投資策略、主要壁壘構成、相關風險等內(nèi)容。同時北京普華有策信息咨詢有限公司還提供市場專項調(diào)研項目、產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、項目可行性研究報告、專精特新小巨人認證、市場占有率報告、十五五規(guī)劃、項目后評價報告、BP商業(yè)計劃書、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、藍白皮書、國家級制造業(yè)單項冠軍企業(yè)認證、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務。（PHPOLICY:GYF）